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AITEC

AITEC 晶圓搬送機械手臂

日本高精度 Robot × Wafer Transfer × Vacuum / ATM Solution

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AITEC 是什麼品牌?

AITEC(株式会社アイテック) 成立於日本,專注於半導體晶圓與玻璃基板搬送機械手臂設計與製造, 提供大氣環境(ATM)與真空環境(VTM)全系列 Robot 解決方案。

產品廣泛應用於半導體晶圓製造、封裝測試、面板產業與高潔淨自動化產線, 以高精度、高速度與高穩定性著稱。

AITEC 核心產品系列

大氣晶圓傳送手臂

適用常壓環境設備,自動上下料與晶圓搬送流程。

真空晶圓傳送手臂

適用蝕刻、鍍膜、沉積等真空製程設備。

PLP 傳送機械手臂

Panel Level Packaging 高精度搬送應用。

玻璃基板搬送 Robot

支援 LCD / Panel 製程搬送需求。

AITEC 技術優勢

高重複精度

部分系列重複精度可達 ±0.1mm,適合精密搬送需求。

高速穩定搬送

縮短 Cycle Time,提升設備 Throughput。

大氣 / 真空完整對應

可依產線需求選擇 ATM 或 VTM 機型。

客製化能力強

可依 wafer 尺寸、fork 結構與設備介面客製設計。

適用產業

  • 半導體晶圓製造(Wafer Fab)
  • 先進封裝(Advanced Packaging)
  • 面板與光電產業
  • 高潔淨無塵室產線
  • 自動化上下料設備

為什麼選擇 AITEC?

在高階製造產線中,搬送機械手臂的穩定度直接影響:

  • 晶圓良率(Yield)
  • 設備產能(Throughput)
  • 製程穩定性(Stability)
  • 維護成本(Maintenance Cost)

AITEC 以日本精密製造品質與長期產業經驗, 成為半導體設備自動化常見選擇之一。

允越科技提供完整售前與售後服務

允越科技代理 AITEC 品牌設備, 提供設備選型、整合規劃、安裝導入與後續維修支援, 協助客戶快速導入穩定可靠的搬送系統。

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