AITEC
AITEC 晶圓搬送機械手臂
日本高精度 Robot × Wafer Transfer × Vacuum / ATM Solution
立即諮詢 AITEC 設備方案AITEC 是什麼品牌?
AITEC(株式会社アイテック) 成立於日本,專注於半導體晶圓與玻璃基板搬送機械手臂設計與製造, 提供大氣環境(ATM)與真空環境(VTM)全系列 Robot 解決方案。
產品廣泛應用於半導體晶圓製造、封裝測試、面板產業與高潔淨自動化產線, 以高精度、高速度與高穩定性著稱。
AITEC 核心產品系列
大氣晶圓傳送手臂
適用常壓環境設備,自動上下料與晶圓搬送流程。
真空晶圓傳送手臂
適用蝕刻、鍍膜、沉積等真空製程設備。
PLP 傳送機械手臂
Panel Level Packaging 高精度搬送應用。
玻璃基板搬送 Robot
支援 LCD / Panel 製程搬送需求。
AITEC 技術優勢
高重複精度
部分系列重複精度可達 ±0.1mm,適合精密搬送需求。
高速穩定搬送
縮短 Cycle Time,提升設備 Throughput。
大氣 / 真空完整對應
可依產線需求選擇 ATM 或 VTM 機型。
客製化能力強
可依 wafer 尺寸、fork 結構與設備介面客製設計。
適用產業
- 半導體晶圓製造(Wafer Fab)
- 先進封裝(Advanced Packaging)
- 面板與光電產業
- 高潔淨無塵室產線
- 自動化上下料設備
為什麼選擇 AITEC?
在高階製造產線中,搬送機械手臂的穩定度直接影響:
- 晶圓良率(Yield)
- 設備產能(Throughput)
- 製程穩定性(Stability)
- 維護成本(Maintenance Cost)
AITEC 以日本精密製造品質與長期產業經驗, 成為半導體設備自動化常見選擇之一。
允越科技提供完整售前與售後服務
允越科技代理 AITEC 品牌設備, 提供設備選型、整合規劃、安裝導入與後續維修支援, 協助客戶快速導入穩定可靠的搬送系統。