SiC/Sapphire/GaN基板檢測

應用範圍

◎2”~6” 各種類LED Wafer晶圓表面外觀各種Macro/Micro檢查應用

產品特點

• 可依客戶需求組合各種Unit
• 電動或手動Stage
• 可配合非接觸edge grip macro, 薄型用spindle macro, 薄型用Bernoulli macro等各種wafer自由組合
• KRF data format , G85對應
• Tester review format對應
• 可依客戶需求進行裝置客製化設計

客製圖面範例