客製化STOCKER

半導體產業12吋晶圓載具(FOUP)臨時儲存與傳送的搬送系統。

• 擁有快速輸入/輸出和儲存的優點，縮短製程設備間運送的時間差，
• 具有高密度與數量的儲存效能，極大程度降低微粒及汙染的問題。
• 可依客戶需求而客製擴展或縮小儲存容量，能與現有設備進行集成設計安裝。