AR-300 SERIES

該產品是對應2~12吋的大氣晶圓傳送機械手臂。

取晶圓方式客製化，邊緣夾持、真空吸附等。

全系列為伺服馬達驅動，重複位置精準度可達±0.1mm。

簡單易操作的教導器，迅速故障排除與取放點位teaching。

規格分為：單ARM(不翻)、單ARM(可翻)及雙ARM。

另有高負重、防水及一體式(內建控制器)等選項。