MTE
廠 牌 : TAZMO
該產品是對應φ300mm的晶圓搬送機器手臂。
這是TAZMO搬送機械手臂的旗艦型號，實現了高速搬送、高潔淨度。
支援無導軌的3FOUP。
交換機構實現晶圓的高速替換。
可搭配Mapping sensor。
R/T軸與Z軸採分離結構，因此維護更容易，且擁有更高的升降行程。
同時有另一型號，增加了ARM的剛性，且能對應φ450mm的型號。
| 適用工件 | Φ100㎜～Φ300㎜ |
| SEMI/JEITA標準晶圓。 | |
| 操作範圍 | R軸：590㎜(機最大臂展) |
| T軸：350度(原點：±175度) | |
| W軸：360度(原點：±180度) | |
| Z軸：330㎜ | |
| T軸：180度 | |
| 位置重複精準度 | X,Y方向：±0.1㎜ (3σ) |
| Z軸：±0.05㎜ (3σ) | |
| P軸：0.02㎜ (3σ) | |
| 晶圓夾持方式 | 背面真空吸附/摩擦式/邊緣抓握/伯努利 |
| 晶圓夾持確認 | 具有數位顯示的真空感測器。 |
| 連線方式 | RS232C、RS485。 |
| Utility： | 電源：單相AC208V 5A 1 系統 ：單相AC100V 7.5A 1系統 |
| 真空：-80kPa以下1系統（Φ6 ×Φ4 快速接頭） | |
| 重量 | 手臂：约50kg |
| 控制器(MCE)：约18kg |