PHT-R-4

單臂晶圓手臂，分為三軸及四軸規格，另有可搬玻璃基板規格。

本產品是用於無塵室的水平多關節機械手臂。
可進行前進/後退（X軸）、旋轉（θ軸）、上/下（Z軸）和手動旋轉（0-180°），對應大氣晶圓輸送，驅動電機為交流伺服電機。