PWD2020

該產品是切片後的做晶圓自動剝離的設備。透過將矽錠安裝到入口側的板狀夾具上，系統自動執行從粗清洗、矽片剝離、單片清洗、乾燥、置入Cassette等工序。剝離完成後，板材夾具將晶圓移至出口側。

採用熱風加熱方式，一次剝離一片。剝離後，晶圓逐一清洗。經過雙流體高壓沖洗、擦洗、沖洗、吸水乾燥、狹縫噴嘴乾燥等工序後，由水平關節機器人將每片晶圓置於出口區的Cassette中。您可以選擇將晶圓存放在Cassette的頂部或底部槽位中（包含 25 槽）。儲物盒最多可容納六件個工件。提供 OHT 搬送服務。