scroll down

NTJ 系列


獨特的驅動結構,實現高精度且高平穩度的移動。

 


適用工件8吋或12吋標準晶圓

操作範圍

(4或5軸)

θ1軸:±170度
Z軸:470mm
θ2軸:±170度
F軸:±(選配)
H1軸:±190度
H2軸:±190度(選配)
最大臂展1067.2mm
最小迴轉半徑R500mm
對應FOUPs數最大3
位置重複精準度±0.05mm
潔淨程度Class 1
晶圓夾持方式背面真空吸附/邊緣夾持