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機械手臂

 

機械手臂|允越科技

專業晶圓傳送、PLP自動化、EFEM設備及六軸工業手臂解決方案,提升產線效率與精準度

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全面自動化解決方案,專為半導體與LCD產線設計

允越科技長期代理 TAZMO、AITEC、KAWASAKI 等國際知名品牌機械手臂。我們提供晶圓傳送手臂、PLP自動化手臂、EFEM設備及六軸工業手臂,適用於半導體、LCD及精密產線自動化。所有產品均可依您的產線需求進行 客製化整合,提升生產效率、降低人工成本、並確保精準搬運。

核心產品特色

  • TAZMO 晶圓傳送手臂:高精度大氣/真空晶圓傳送,提升生產效率與穩定性。
  • AITEC 晶圓自動化手臂:可靠性高、可客製化整合,支援PLP自動化與EFEM設備。
  • KAWASAKI 六軸工業手臂:適用精密搬運、巡邊與末端執行器整合,提高產線自動化水平。

常見問題 (FAQ)

Q1: 允越科技提供哪些品牌的機械手臂?

A: 我們代理 TAZMO、AITEC、KAWASAKI 等知名品牌,提供晶圓傳送、PLP自動化及六軸工業手臂。

Q2: 機械手臂適用哪些產業?

A: 適用於半導體、LCD、液晶面板及精密產線自動化,提升生產效率、精準度與可靠性。

Q3: 可以客製化嗎?

A: 可以,我們提供完整的產線整合與客製化服務,確保機械手臂符合您的生產需求。

Q4: 如何快速聯繫詢價?

A: 點擊頁面上方的「立即LINE諮詢」按鈕,直接與我們專業團隊聯繫,獲取最適合您的自動化方案。

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TAZMO

TAZMO 晶圓搬送機械手臂

日本半導體高精度 Robot × EFEM × Clean Transfer System

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TAZMO 是什麼?

TAZMO(タツモ株式会社) 日本知名半導體設備製造商, 專注於晶圓搬送機械手臂與自動化傳輸系統。

其產品廣泛應用於 EFEM(Equipment Front End Module)、 晶圓傳送系統與高潔淨製程環境。

TAZMO 機械手臂核心應用

  • 晶圓搬送機械手臂(Wafer Transfer Robot)
  • EFEM 自動化前端模組
  • 大氣環境搬送系統(ATM Robot)
  • 真空環境搬送系統(VTM Robot)

TAZMO 技術優勢

  • 高潔淨設計:可對應 Class 1 無塵環境
  • 高精度搬送:適用 200mm / 300mm 晶圓
  • 低振動控制:提升良率與穩定性
  • 模組化設計:可整合 Load Port / EFEM
  • 高相容性:支援多品牌設備整合

應用產業

  • 半導體晶圓製造(Wafer Fab)
  • 先進封裝(Advanced Packaging)
  • 面板與光電產業
  • 自動化無塵室系統

為什麼選擇 TAZMO?

在半導體自動化產線中,機械手臂的穩定性直接影響:

  • 晶圓良率(Yield)
  • 搬送效率(Throughput)
  • 設備穩定性(Stability)

TAZMO 以高穩定、高潔淨與高整合性著稱,是 EFEM 系統的重要核心品牌。

常見問題 FAQ

TAZMO 主要產品是什麼?

晶圓搬送機械手臂與EFEM自動化系統。

是否支援客製化?

可依產線需求進行模組化整合設計。

TAZMO 可以搭配哪些設備?

可搭配 Load Port、End Effector、Aligner 等設備。

立即取得 TAZMO 解決方案

歡迎聯繫允越科技,取得日本TAZMO完整自動化設備方案。

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AITEC

AITEC

AITEC 晶圓搬送機械手臂

日本高精度 Robot × Wafer Transfer × Vacuum / ATM Solution

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AITEC 是什麼品牌?

AITEC(株式会社アイテック) 成立於日本,專注於半導體晶圓與玻璃基板搬送機械手臂設計與製造, 提供大氣環境(ATM)與真空環境(VTM)全系列 Robot 解決方案。

產品廣泛應用於半導體晶圓製造、封裝測試、面板產業與高潔淨自動化產線, 以高精度、高速度與高穩定性著稱。

AITEC 核心產品系列

大氣晶圓傳送手臂

適用常壓環境設備,自動上下料與晶圓搬送流程。

真空晶圓傳送手臂

適用蝕刻、鍍膜、沉積等真空製程設備。

PLP 傳送機械手臂

Panel Level Packaging 高精度搬送應用。

玻璃基板搬送 Robot

支援 LCD / Panel 製程搬送需求。

AITEC 技術優勢

高重複精度

部分系列重複精度可達 ±0.1mm,適合精密搬送需求。

高速穩定搬送

縮短 Cycle Time,提升設備 Throughput。

大氣 / 真空完整對應

可依產線需求選擇 ATM 或 VTM 機型。

客製化能力強

可依 wafer 尺寸、fork 結構與設備介面客製設計。

適用產業

  • 半導體晶圓製造(Wafer Fab)
  • 先進封裝(Advanced Packaging)
  • 面板與光電產業
  • 高潔淨無塵室產線
  • 自動化上下料設備

為什麼選擇 AITEC?

在高階製造產線中,搬送機械手臂的穩定度直接影響:

  • 晶圓良率(Yield)
  • 設備產能(Throughput)
  • 製程穩定性(Stability)
  • 維護成本(Maintenance Cost)

AITEC 以日本精密製造品質與長期產業經驗, 成為半導體設備自動化常見選擇之一。

允越科技提供完整售前與售後服務

允越科技代理 AITEC 品牌設備, 提供設備選型、整合規劃、安裝導入與後續維修支援, 協助客戶快速導入穩定可靠的搬送系統。

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KAWASAKI

KAWASAKI

 

KAWASAKI 六軸機械手臂

日本川崎重工 Robot × 工業自動化 × 智慧製造解決方案

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KAWASAKI 是什麼品牌?

KAWASAKI(川崎重工業)於 1969 年推出日本第一台工業機器人, 是全球知名工業機器人先驅品牌之一,長期深耕自動化與智慧製造領域。

KAWASAKI 機械手臂廣泛應用於汽車、電子、金屬加工、物流、食品與半導體產業, 以高速度、高精度與高耐用性著稱。

KAWASAKI 機械手臂產品應用

搬運機械手臂

適用上下料、物料搬運、產線移載與自動倉儲流程。

焊接機器人

適用點焊、弧焊與高重複性焊接製程。

組裝機械手臂

高精度裝配作業,提升產能與一致性。

碼垛機器人

高速堆疊、棧板作業與物流自動化。

六軸機械手臂核心優勢

高自由度動作

六軸設計可對應複雜角度與多方向作業需求。

高精度定位

適合精密加工、裝配與重複性工作站。

高速運行效率

縮短 Cycle Time,提高產線產能。

長期穩定耐用

川崎重工成熟技術,適合長時間連續生產。

半導體與高科技產業應用

KAWASAKI 亦積極投入半導體與先進封裝自動化領域, 可應用於晶圓搬送、PLP 製程、自動上下料與高潔淨搬運流程, 協助高科技產線提升效率與穩定性。

導入 KAWASAKI Robot 的效益

  • 降低人工成本與人力依賴
  • 提升品質一致性與良率
  • 提高產線產能與效率
  • 改善危險工站安全性
  • 加速智慧工廠升級

允越科技提供完整整合服務

允越科技提供 KAWASAKI 六軸機械手臂選型、產線規劃、周邊整合、 夾治具搭配、安裝導入與售後技術支援, 協助企業快速完成自動化升級。

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HYULIM ROBOT

HYULIM-DST

HYULIM-DST 晶圓搬送機械手臂

韓國高精度 Robot × Wafer Transfer × ATM / Vacuum Automation

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HYULIM-DST 是什麼品牌?

HYULIM-DST(HYULIM ROBOT) 為韓國知名機器人與自動化設備品牌, 自 1999 年成立以來,持續投入工業機器人、半導體搬送設備與智慧自動化系統開發。

品牌以穩定品質、精密設計與多元應用能力著稱, 產品廣泛應用於半導體、面板、電子製造與高科技產業。

HYULIM-DST 核心產品系列

大氣晶圓傳送手臂

AR-300 系列,適用常壓設備晶圓自動上下料與搬送流程。

真空晶圓傳送手臂

AR-WV300 系列,適用蝕刻、PVD、CVD 等真空製程設備。

大氣 PLP 傳送手臂

AR-G 系列,適用 Panel Level Packaging 自動搬送應用。

真空 PLP 傳送手臂

AR-VG 系列,支援高階封裝與真空環境製程需求。

HYULIM-DST 技術優勢

高精度定位

穩定搬送 wafer / panel,降低偏移與碰撞風險。

高速傳送效率

縮短 Cycle Time,提高設備產能與 Throughput。

高可靠度設計

適合長時間連續運轉產線環境。

多元客製能力

可依尺寸、行程、夾持方式與設備介面客製化。

適用產業

  • 半導體晶圓製造(Wafer Fab)
  • 先進封裝(Advanced Packaging)
  • 面板與光電產業
  • 電子組裝自動化產線
  • 高潔淨無塵室設備

為什麼選擇 HYULIM-DST?

在高科技產線中,搬送系統穩定度直接影響:

  • 產品良率(Yield)
  • 設備稼動率(Uptime)
  • 產線效率(Productivity)
  • 維護成本(Maintenance Cost)

HYULIM-DST 結合韓國製造技術與自動化經驗, 提供高性價比且穩定可靠的搬送解決方案。

允越科技提供完整整合服務

允越科技代理 HYULIM-DST 品牌設備, 提供設備選型、產線整合、安裝導入與售後支援, 協助企業快速升級半導體自動化系統。

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允越科技 × 盛詮科技

盛詮

Load Port 晶圓載具平台|半導體自動化關鍵設備

提升產線效率 × 降低污染風險 × 強化製程穩定性

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為什麼半導體產線一定需要 Load Port?

Load Port 是晶圓進出設備的核心關鍵,直接影響搬運效率與潔淨度控制。 允越科技提供高品質解決方案,協助客戶打造穩定可靠的自動化產線。

  • 降低人工操作風險
  • 減少污染與缺陷率
  • 提升整體產線效率

產品特色

  • 支援 FOUP / Cassette
  • 符合 SEMI 標準
  • 低粒子污染設計
  • 模組化客製

應用領域

  • 半導體製造
  • 封裝測試
  • 光電產業

常見問題 FAQ

Load Port 可以客製嗎?

可以,依產線需求提供客製化方案。

如何快速詢價?

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PHT INC

PHT Inc.

PHT Inc. 晶圓搬送機械手臂

日本 Wafer Transfer Robot × EFEM × Semiconductor Automation

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PHT Inc. 是什麼品牌?

PHT Inc.(PHT 株式会社)創立於 1980 年, 總部位於日本東京,並於日本、美國與亞洲地區設有據點, 專注於半導體晶圓搬送設備、清洗設備與自動化系統

PHT 長期深耕晶圓搬送與清洗技術, 產品應用於 200mm / 300mm wafer、SiC、GaN 與化合物半導體製程。

PHT 核心產品系列

Wafer Transfer Robot

晶圓傳送機械手臂,支援大氣環境高精度搬送流程。

Wafer Transfer Device

晶圓移載裝置,可整合對位、ID 讀取與上下料流程。

EFEM / Sorter

前端模組設備,整合 Load Port、Robot 與分類搬送系統。

Cassette Changer

200mm / 300mm 晶圓載具交換設備,提高產線效率。

Automatic Wafer Demounter

晶圓自動拆片與清洗系統,降低人工操作風險。

Cleaning Equipment

單片式 / 批次式 wafer 清洗設備,維持製程潔淨度。

PHT 技術優勢

高可靠度運轉

部分設備可長期運作超過 20 年,穩定性高。

高潔淨搬送設計

降低 Particle 與金屬污染風險,提升良率。

支援次世代材料

對應 SiC、GaN 等功率半導體製程需求。

完整產線整合能力

從搬送、清洗到前端模組,提供整體解決方案。

適用產業

  • 半導體晶圓製造(Wafer Fab)
  • 先進封裝(Advanced Packaging)
  • SiC / GaN 功率半導體
  • 電子材料與高潔淨產線
  • 自動化搬送與檢測設備

為什麼選擇 PHT?

在高階半導體製程中,搬送與清洗設備會直接影響:

  • 產品良率(Yield)
  • 設備稼動率(Uptime)
  • 製程潔淨度(Cleanliness)
  • 自動化效率(Throughput)

PHT 以日本精密製造技術與長年半導體實績, 成為全球半導體設備鏈的重要供應商之一。

允越科技提供完整服務

允越科技代理 PHT Inc. 品牌設備, 提供設備選型、系統整合、安裝導入與售後支援, 協助企業快速建置高效率半導體產線。

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