MTP
廠 牌 : TAZMO
該產品是為高真空環境開發，實現了低震動、低噪音， 能與次世代的半導體製造裝置對應。
各軸都使用AC伺服馬達，採用獨特構造，能對應10^(-6)Pa的真空環境。
End Effect或晶圓夾持的方式可討論。
也包含了沒有升降(Z軸)的規格可做選購。
採用分支結構，將雙臂的迴轉半徑控制在最少，最大程度增加搬送距離。
| 適用工件 | Φ100㎜～Φ300㎜ |
| SEMI/JEITA標準晶圓6 inch MASK | |
| 操作範圍 | R軸：330㎜（最大臂展，不算End effect） |
| T軸：370度(原點：±185度) | |
| Z軸：104㎜ | |
| 位置重複精準度 | X,Y方向：±0.1㎜ (3σ) |
| Z軸：±0.05㎜ (3σ) | |
| 晶圓夾持方式 | 摩擦式 |
| 最大可承受真空值 | 10^(-6)Pa |
| 連線方式 | RS232C、RS485 |
| Utility | 電源：單相AC200V~230V 5A 1 系統 |
| 重量 | 手臂：约76kg |
| 控制器(MCQ)：约16kg |