ET系列
廠 牌 : TAZMO
該產品為專為PLP設計的雙ARM機械手臂。
- 工作尺寸：支援最大650mm^2的基板。
- 最大移動距離：1500mm。
| 適用工件 | 方形基板 300mm~650mm |
| 軸 | R1軸/R2軸/T軸/Z軸/S軸 |
| 動作範圍 | R：最大臂展760mm(到旋轉中心) |
| Ｔ：±185度 | |
| Z：500mm | |
| S：880mm | |
| 動作速度 | R1、R2軸：1.5sec/1175mm |
| T：1.8sec/180度 | |
| Z：2.0sec/500mm | |
| S：1.5sec/880mm | |
| 重複位置精準度 | R1、R2軸：±0.1mm |
| T：±0.03度 | |
| Z：±0.1mm | |
| S：±0.25mm | |
| 驅動馬達 | AC伺服馬達 |
| 速度控制方式 | 特殊加減速編碼控制 |
| 連線方式 | RS232C、Ethernet |
| Utility | 真空-80kPa以下 |
| （Φ6 ×Φ4 快速接頭）2系統 | |
| 重量 | 手臂140KG |
| 滑軌150KG |