Tazmo
タツモ株式会社於1990年，成立半導體裝置課，即現在的搬送事業部。
並於2008年成立越南分公司，以增加各部件的常備庫存水位。
2015年開始PLP專用搬送手臂開發、製造及販售。
Tazmo尋求高科技與人文主義的交集，並持續致力於技術創新。
其根源是建立繁榮幸福社會的挑戰精神和想像。
獨特的技術為精密加工和精細機電一體化領域的發展做出了貢獻，在日本內外受到了高度評價，人們對Tazmo的期望也越來越高。
將繼續追求尖端技術，同時繼續致力於「科技為民」。
開發了各種搬送系統，不僅準確、快速，而且節省空間。
其中，晶圓傳送機器人以其高吞吐量和高精度搬運、運行穩定和長期免維護運行而受到高度評價，並且還配備了滿足用戶要求的應用功能。
真空晶圓傳送手臂
在真空環境中，以其卓越的潔淨度、精準的傳輸能力和穩定的性能，成為您真空製程的最佳選擇。
我們提供多種規格和配置的VTM真空傳輸模組，並可根據您的需求提供客製化解決方案，滿足您不同的製程需求。
真空巡邊機ALIGNER
晶圓尋邊器（Wafer Aligner）也稱為晶圓對準器或校正機，屬於晶圓傳送系統中的核心部件，可以高速而精準地完成中心定位與角度補正的工作，其保證精度為0.1。伯堅為廣大半導體廠商推薦日本TAZMO，其品牌MAF-S與MAF-R系列之Aligner採用微接觸的方式接觸背面的方式，將晶圓的顆粒物汙染控制在最小，適用於直徑Φ2inch~Φ12inch晶圓及玻璃的機械鉗方式校正機。全程只接觸晶圓邊緣，所以真正地實現了清潔定位的概念。且不需與robot連動，可以自行系統單獨動作，實現高自由度搭配度。若您正在尋找適合的Aligner，歡迎聯絡我們！