影像感測器檢測系統
廠 牌 : ITOCHU
應用範圍
◎ 8”~12” Wafer晶圓表面外觀各種Macro/Micro檢查應用
產品特點
- 可依客戶需求組合各種Unit
- 電動或手動Stage
- 可配合非接觸edge grip macro, 薄型用spindle macro, 薄型用Bernoulli macro等各種wafer自由組合
- KRF data format , G85對應
- Tester review format對應
廠 牌 : ITOCHU
◎ 8”~12” Wafer晶圓表面外觀各種Macro/Micro檢查應用