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AR-300系列


該產品為專為晶圓設計的搬送機械手臂。

有單ARM及雙ARM規格可做選擇,另外單ARM有翻轉規格可選配。

 


適用工件晶圓 ~300mm
3或4軸
負重非翻轉規格可搬3KG工件,翻轉規格可搬500G工件