NTH10A
該產品是針對面板級封裝(Panel-Level Packaging, PLP)設計的KAWASAKI川崎機械手臂。
精準且快速的將工件搬送到指定站點，站點間的搬送，安全且高潔淨。
採用伺服馬達驅動，另可選配Mapping sensor 。
| 適用工件 | 8吋或12吋標準晶圓 |
操作範圍 (4軸) | θ1軸：±170度 |
| Z軸：470mm | |
| θ2軸：±170度 | |
| W1軸：±210度 | |
最大速度 | θ1軸：±240度 |
| Z軸：500mm | |
| θ2軸：±480度 | |
| W1軸：±360度 | |
| 最大臂展 | 876.65mm |
| 最小迴轉半徑 | R1000mm |
| 對應FOUPs數 | 最大3 |
| 位置重複精準度 | ±0.1mm |
| 潔淨程度 | Class 1 |
| 晶圓夾持方式 | 背面真空吸附/邊緣夾持 |
| 重量 | 本體：72KG |