Kawasaki川崎在晶圓傳送的半導體手臂市佔率第一。
獨特的驅動馬達技術使產品擁有高精確性及迅速的制動能力。
一個單獨的機械手臂，可以在沒有滑軌的場合，對應２、３或4個FOUPs的EFEM。
適用於SEMI-F47及SEMI-S2標準。
可執行環形框架或基板的搬送。
