PHT Inc.
PHT Inc. 晶圓搬送機械手臂
日本 Wafer Transfer Robot × EFEM × Semiconductor Automation
立即諮詢 PHT 設備方案PHT Inc. 是什麼品牌？
PHT Inc.（PHT 株式会社）創立於 1980 年， 總部位於日本東京，並於日本、美國與亞洲地區設有據點， 專注於半導體晶圓搬送設備、清洗設備與自動化系統。
PHT 長期深耕晶圓搬送與清洗技術， 產品應用於 200mm / 300mm wafer、SiC、GaN 與化合物半導體製程。
PHT 核心產品系列
Wafer Transfer Robot
晶圓傳送機械手臂，支援大氣環境高精度搬送流程。
Wafer Transfer Device
晶圓移載裝置，可整合對位、ID 讀取與上下料流程。
EFEM / Sorter
前端模組設備，整合 Load Port、Robot 與分類搬送系統。
Cassette Changer
200mm / 300mm 晶圓載具交換設備，提高產線效率。
Automatic Wafer Demounter
晶圓自動拆片與清洗系統，降低人工操作風險。
Cleaning Equipment
單片式 / 批次式 wafer 清洗設備，維持製程潔淨度。
PHT 技術優勢
高可靠度運轉
部分設備可長期運作超過 20 年，穩定性高。
高潔淨搬送設計
降低 Particle 與金屬污染風險，提升良率。
支援次世代材料
對應 SiC、GaN 等功率半導體製程需求。
完整產線整合能力
從搬送、清洗到前端模組，提供整體解決方案。
適用產業
- 半導體晶圓製造（Wafer Fab）
- 先進封裝（Advanced Packaging）
- SiC / GaN 功率半導體
- 電子材料與高潔淨產線
- 自動化搬送與檢測設備
為什麼選擇 PHT？
在高階半導體製程中，搬送與清洗設備會直接影響：
- 產品良率（Yield）
- 設備稼動率（Uptime）
- 製程潔淨度（Cleanliness）
- 自動化效率（Throughput）
PHT 以日本精密製造技術與長年半導體實績， 成為全球半導體設備鏈的重要供應商之一。
允越科技提供完整服務
允越科技代理 PHT Inc. 品牌設備， 提供設備選型、系統整合、安裝導入與售後支援， 協助企業快速建置高效率半導體產線。
