TL300A
廠 牌 : TAZMO
該產品是為EFEM設計，藉由FOUP或CASSETTE放置晶圓，以利手臂取放片。
- 以步進馬達運作。
- 可支援φ200mm或φ300mm標準晶圓。
- 可選購Mapping功能。
| 適用工件 | φ200mm或φ300mm |
| SEMI/JEITA標準晶圓 | |
| FOUP開蓋方式 | 真空吸附 |
| 最大可承受真空值 | 10^(-6)Pa |
| 連線方式 | RS232C |
| Utility | 電源：DC24V±10% 5.5A |
| 乾燥Air：φ6 mm，0.4 ～ 0.55 MPa，20 L/Min以上 | |
| 重量 | 本體約56kg |