晶圓搬送

晶圓搬送機械手臂(Wafer Transfer Robots)—潔淨無塵，精準搬運

半導體製程對精度與潔淨度要求極高，允越科技提供 TAZMO、AITEC、HYULIM、川崎 KAWASAKI 等品牌的確保每片晶圓安全搬運，避免污染與損壞，提升生產良率。

• 【TAZMO】高精密無塵搬送手臂 – 專為半導體產線設計，穩定度高。
• 【AITEC】高速晶圓搬送設備 – 具備高精準控制，減少晶圓破損。
• 【HYULIM】半導體專用機械手臂 – 低震動設計，確保晶圓無損搬運。
• 【川崎KAWASAKI】高潔淨晶圓搬送手臂 – 無塵室專用，高速精確搬運8吋/12吋晶圓。

我們的機械手臂符合半導體潔淨標準，確保每一道製程安全無憂！