AR-V系列

該產品是對應2~12吋的真空晶圓傳送機械手臂。

全系列為伺服馬達驅動，重複位置精準度可達±0.1mm。

簡單易操作的教導器，迅速故障排除與取放點位teaching。

高精準度且高潔淨度，符合高真空環境需求。

規格分為：單ARM及雙ARM。

另有長行程(升降Z軸)、θ軸無限制旋轉等選項。