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TTJ系列


採用伸縮機構,技能實現低passline,又能實現高Z軸搬送。

 

 


適用工件8吋或12吋標準晶圓

操作範圍

(5軸)

θ1軸:±170度
Z軸:740mm
θ2軸:±170度
H1軸:±190度
H2軸:±190度(選配)
最大臂展1067.2mm
最小迴轉半徑R500mm
對應FOUPs數最大3
位置重複精準度±0.05mm
潔淨程度Class 1
晶圓夾持方式背面真空吸附/邊緣夾持