產業別
半導體
- 半導體：
半導體製程中的傳送模組可分為：
大氣環境傳送模組（ATM, Atmospheric Transfer Module） 與 真空環境傳送模組（VTM, Vacuum Transfer Module）。
這兩種傳送模組分別應用於不同製程階段，
確保晶圓及半導體元件能夠在最佳環境下精準運送，提升製程效率與良率。
- 大氣傳輸模組ATM：
主要應用於常壓環境下的半導體設備，如晶片封裝、測試及表面處理等製程，通常不涉及真空密閉空間。
Tazmo：🔹大氣機械手臂ROBOT、🔹大氣巡邊機ALIGNER、🔹晶圓載具平台LOAD PORT、🔹晶圓傳送EFEM
Aitec：🔹大氣機械手臂ROBOT
Kawasaki：🔹大氣機械手臂ROBOT、🔹巡邊機ALIGNER、🔹末端執行器END EFFECT
Hyulim：🔹大氣機械手臂ROBOT
盛詮：🔹晶圓載具平台LOAD PORT、🔹大氣末端執行器END EFFECT
- 真空傳輸模組VTM：
主要用於前段晶圓製造，如光刻（Lithography）、蝕刻（Etching）、薄膜沉積（Deposition）等，
確保晶圓在無塵、無氧的真空環境下運行，減少污染與氧化風險。
Tazmo：🔹真空機械手臂ROBOT、🔹真空巡邊機ALIGNER
Aitec：🔹真空機械手臂ROBOT
Kawasaki：🔹真空機械手臂ROBOT
Hyulim：🔹真空機械手臂ROBOT
盛詮：🔹真空末端執行器END EFFECT
工業
隨著智慧製造（Smart Manufacturing）與工業 4.0 的推動，
工業自動化已成為製造業提升效率、降低成本與提高產品品質的關鍵技術。
機械手臂作為智能工廠的核心設備，廣泛應用於 電子、汽車、半導體、物流、醫療 等產業，
實現高度自動化的生產流程。
其中，KAWASAKI 六軸機械手臂 以其高靈活度、精度與負載能力，
在各種工業領域中發揮關鍵作用，提升生產效率與穩定性。
Kawasaki：🔹六軸手臂ROBOT