晶圓傳送設備EFEM
提供一體式EFEM晶圓傳送設備,Robot、Opener與Aligner皆屬本公司產品,並可根據客戶需求靈活配置,對應其他廠牌的Loadport。
智能化的控制系統,確保設備穩定運行,降低維護成本。
客製化EFEM
廠 牌 : TAZMO
EFEM(Equipment Front End Module)是半導體產業重要的自動化整合設備,能夠滿足客戶對高產量與高Throughput的需求。
一體式EFEM晶圓傳送設備是源自日本品牌TAZMO,而其Robot,Opener與Aligner皆屬本公司產品(附帶走行軸、斜取(snake motion)、水平changer,load port可以應客戶要求做更靈活的LAYOUT,對應其他廠牌的LDP. – FOUP OPENER,例如:TDK,台灣平田等。
以本公司開發研製的處理器和傳送裝置為基準,按照要求能快速的設計和製造出專屬於你的一款設備的服務。