客製化LOADPORT

Cassette or FOUP 與 Auto door-FOSB 均可搬送

高潔淨度、高濕度控制、高通訊兼容性和多控制項，以實現更好的產品質量，符合並取得SEMI S2認證。

防止粒子滲透至FOUP中，且提供PC軟體調機工具、標準通訊操作命令(ASCII)。

晶圓高效率檢測技術(晶圓在席, 厚片/薄片, 交叉等)，協助設計各項需求, 能配合自訂規格模組化。