PGT2020

自動將 Ø300mm (12") 矽/玻璃晶圓逐片傳送至載具1、載具2及之間的載物台。

使用的載具為 FOUP 和 FOSB 自動門。一般情況下，操作員僅需將載具放置在載物台上。

空氣潔淨度：ISO 333 級 (ISO-14644)，有Mapping sensor確認晶圓是否在槽內。