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Tazmo

タツモ株式会社於1990年,成立半導體裝置課,即現在的搬送事業部。

並於2008年成立越南分公司,以增加各部件的常備庫存水位。

2015年開始PLP專用搬送手臂開發、製造及販售。

 

Tazmo尋求高科技與人文主義的交集,並持續致力於技術創新。

其根源是建立繁榮幸福社會的挑戰精神和想像。

獨特的技術為精密加工和精細機電一體化領域的發展做出了貢獻,在日本內外受到了高度評價,人們對Tazmo的期望也越來越高。

將繼續追求尖端技術,同時繼續致力於「科技為民」。

 

開發了各種搬送系統,不僅準確、快速,而且節省空間。

其中,晶圓傳送機器人以其高吞吐量和高精度搬運、運行穩定和長期免維護運行而受到高度評價,並且還配備了滿足用戶要求的應用功能。

大氣晶圓傳送機械手臂

大氣晶圓傳送機械手臂

該類產品專為EFEM設計,高速、精準且高潔淨度的晶圓傳送手臂,以低價且高性能取勝,可搭載自家或他廠LOAD PORT及上位系統,高相容性,且較小的旋轉半徑,能在更多不同條件的空間適用。

大氣巡邊機ALIGNER

大氣巡邊機ALIGNER

晶圓尋邊器(Wafer Aligner)也稱為晶圓對準器或校正機,屬於晶圓傳送系統中的核心部件,可以高速而精準地完成中心定位與角度補正的工作,其保證精度為0.1。伯堅為廣大半導體廠商推薦日本TAZMO,其品牌MAF-S與MAF-R系列之Aligner採用微接觸的方式接觸背面的方式,將晶圓的顆粒物汙染控制在最小,適用於直徑Φ2inch~Φ12inch晶圓及玻璃的機械鉗方式校正機。全程只接觸晶圓邊緣,所以真正地實現了清潔定位的概念。且不需與robot連動,可以自行系統單獨動作,實現高自由度搭配度。若您正在尋找適合的Aligner,歡迎聯絡我們

晶圓載具平台LOADPORT

晶圓載具平台LOADPORT

高效、安全的晶圓傳輸起點。提供穩定的盒裝載介面,確保過程中的安全性和潔淨度。

確保在晶圓傳輸的過程中,不會受到損壞,進而提升產品的良率。

EFEM

晶圓傳送設備EFEM

提供一體式EFEM晶圓傳送設備,Robot、Opener與Aligner皆屬本公司產品,並可根據客戶需求靈活配置,對應其他廠牌的Loadport。

智能化的控制系統,確保設備穩定運行,降低維護成本。

客製化ICP LDULD

客製化ICP LDULD

廠  牌 : TAZMO

 

客製化LED Coater

客製化LED Coater

廠  牌 : TAZMO