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NS-004S


該產品為大氣環境用巡邊機ALIGNER,與KAWASAKI川崎手臂適配。

 

 


判斷對象Notch
最大速度1384 deg/sec
Alignment時間<3.6sec
位置重複精準度±0.3度
晶圓夾持方式背面真空吸附/邊緣夾持
重量6.3KG