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P-EFEM


搭載高性能AC伺服電機,實現高速輸送,負載能力充足。

機器手臂、裝載口可以得到最佳定位。我們繼承了20多年在惡劣環境下運作的機器人技術。

分為兩、三站點兩規格。


適用工件200mm/300mm±0.2mm,厚度775μm,晶圓;25層FOUP
Utility單相AC200V±10% 50/60Hz±5%,-80kPa 至 -90kPa