TT301A-RA
廠 牌 : TAZMO
該產品是專為EFEM開發的一款低成本、高效能的晶圓傳送機器手臂。
這是Tazmo搬運機器手臂的旗艦型號，實現了高速反應和高清潔度。
符合 SEMI F47。
與先前的型號相比，通用零件和模組的比例有所提高，使價格更低。
獨特的高速更換機構，使晶圓更換時間縮短50%。
採用新型控制系統，實現了高速、平穩運作。
與之前的型號相比，手臂佔地面積減少了 15%，控制器體積減少了 50%。
無軌支撐 2FOUP。也提供Mapping sensor。
| 適用工件 | Φ100㎜～Φ300㎜ |
| SEMI/JEITA標準晶圓。 | |
| 操作範圍 | R軸：430㎜(機最大臂展) |
| T軸：370度(原點：±185度) | |
| Z軸：330㎜ | |
| 位置重複精準度 | X,Y方向：±0.1㎜ (3σ) |
| Z軸：±0.05㎜ (3σ) | |
| 晶圓夾持方式 | 背面真空吸附/摩擦式/邊緣抓握/伯努利 |
| 晶圓夾持確認 | 具有數位顯示的真空感測器。 |
| 連線方式 | RS232C,乙太網路。 |
| Utility： | 電源：單向AC200V～230V 7.5A 1系統 |
| 真空：-80kPa以下 15L/min以上 1系統 （Φ6 ×Φ4 快速接頭） | |
| 重量 | 手臂：约35kg |
| 控制器：约10kg |