客製化SORTER

採用SEMI 標準規範設計8 吋與12 吋專用晶圓盒。

• 2 組標準晶圓Loadport。
• TAZMO-機器手臂(TT301A-WA) 晶圓取/放片功能控制
• 晶圓預對準器-用於檢查晶圓對準定位和讀取晶圓產品ID 編號。
• 提供製程配方參數與晶圓手臂拖放控制。
• 經可調整的排序功能，將晶圓按照順序及交叉方式進行拖放作業。
• TCP/IP 網路通訊介面& SECS/GEM 通訊協定(另選)。