大氣晶圓傳送機械手臂

該類產品專為EFEM設計，高速、精準且高潔淨度的晶圓傳送手臂，以低價且高性能取勝，可搭載自家或他廠LOAD PORT及上位系統，高相容性，且較小的旋轉半徑，能在更多不同條件的空間適用。