NX系列
基於較緊湊的手臂設計，可在更節省空間的情況下架設。
有單ARM或雙ARM的選項。
| 適用工件 | 8吋或12吋標準晶圓 |
操作範圍 (5軸) | θ1軸：+313~-323度 |
| Z軸：330mm | |
| θ2軸：+180~-150度 | |
| F軸：±∞(選配) | |
| H1軸：±190度 | |
| H2軸：±190度(選配) | |
| 最大臂展 | 763mm |
| 最小迴轉半徑 | R284mm |
| 對應FOUPs數 | 最大2 |
| 位置重複精準度 | ±0.05mm |
| 潔淨程度 | Class 1 |
| 晶圓夾持方式 | 背面真空吸附/邊緣夾持 |
基於較緊湊的手臂設計，可在更節省空間的情況下架設。
有單ARM或雙ARM的選項。
| 適用工件 | 8吋或12吋標準晶圓 |
操作範圍 (5軸) | θ1軸：+313~-323度 |
| Z軸：330mm | |
| θ2軸：+180~-150度 | |
| F軸：±∞(選配) | |
| H1軸：±190度 | |
| H2軸：±190度(選配) | |
| 最大臂展 | 763mm |
| 最小迴轉半徑 | R284mm |
| 對應FOUPs數 | 最大2 |
| 位置重複精準度 | ±0.05mm |
| 潔淨程度 | Class 1 |
| 晶圓夾持方式 | 背面真空吸附/邊緣夾持 |