【每週快訊】高潔凈邊緣接觸式aligner

晶圓的中心定位及角度調整採用非倒換方式,從而實現了高速處理。
對應150mm,200mm,300mm SEMI/JEIDA矽晶圓、石英玻璃。
自動識別晶圓的尺寸及V形切口,定向平面,
內置型控制器的緊密設計。
可以通過RC232或RS485串列通信,或者光學I/O開聯通信的方式進行控制